Keithley 2600B 系列系統 SMU 儀器是業界標準電流-電壓源和測量解決方案，適用于高度自動化生產測試應用。 雙通道和單通道型號都緊密集成一個精密電源、真正電流源、數字萬用表和具有脈沖生成功能的電子負載。 另外，TSP? 技術可運行完整測試程序，適用于自動化系統應用，TSP-鏈路?技術允許菊花式鏈接最多 64 條通道，適用于大容量并行測試。

2600B系列系統數字源表源測量單元（SMU）儀表是業界一流的電流/電壓源 與測量解決方案，它是利用吉時利第三代源測量單元（SMU）技術建造的。2600B 系列產品包括單通道和雙通道型號，集成了高精密電源、真正電流源、6位半數字多用表（DMM）、任意波形發生器、脈沖發生器以及電子負載等功能——這些功能都在一個高度集成的儀器機箱內。這是一個功能強大的解決方案，大大提高了從臺式 I/V特性分析道高度自動化生產測試等各種應用中的測試效率。對于臺式應用，2600B系列數字源表內置基于Java的測試軟件，支持即插即用I/V測試，可以通過世界各地任何計算機瀏覽器運行。對于自動化系統應用，2600B系列數字源表的測試腳本處理器(TSP)，可以運行儀器內存儲的完整測試程序，實現業界最佳的吞吐量。在更大型的多通道應用中，吉時利的TSP-Link技術與TSP協同工作，實現了高度、SMU-per-pin并行測試。由于2600B系列數字源表源測量單元（SMU）儀表具有不需要主機的、完全隔離的通道，因此，可以根據測試應用需求的進展，很容易進行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V測試軟件

2600B系列數字源表是唯一內置基于Java測試軟件的源測量單元（SMU）儀表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通過世界各地任何計算機瀏覽器運行。這個獨特功能提高了研發、教育和QA/FA等各種應用的測試效率。只需通過附送的 LAN電纜，將2600B數字源表連接至互聯網，打開瀏覽器，輸入2600B的IP低至，即可開始測試。測試結果可以下載之電子數據表（如Excel），供進一步的分析和格式化，或者導入其他文檔或演示文稿。

采用TSP技術，提供無與倫比的吞吐量，適合自動測試

對于需要最高自動化和吞吐量級別的測試應用來說，2600B數字源表的TSP技術提供了業界最佳的性能。TSP技術遠遠超越傳統的測試命令序列……它完全嵌入，然后，在源測量單元（SMU）儀器內部執行完整的測試程序。這實際上避免了所 有耗時的總線-PC控制器之間的通信，因此，大幅縮短整個測試時間。

 

TSP技術將執行來自2600B系列數字源表內非易失性存儲的完整測試程序。

通過TSP-Link技術，實現SMU-Per-Pin并行測試

TSP-Link是通道擴展總線，支持多 個2600B系列數字源表互連，成為一個單 一、嚴格同步的多通道系統。2600B的 TSP-Link技術與其TSP技術協同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行測試。與大型 自動測試設備系統等其他高速解決方案 不同的是，2600B在無需主機成本或負擔 情況下，實現了并行測試性能。基于TSP -Link技術的系統，還支持出眾的靈活性， 可以根據測試需求的變化，迅速而容易 地對系統進行重新配置。

在TSP-Link系統中，所有通道的同步都控制在 500ns以內。

2400型軟件仿真

2600B系列數字源表，與為吉時利2400 型數字源表源測量單元（SMU）儀表開發的測試代碼兼容。這使得基于2400型數字源 表的測試系統更容易地升級至2600B系列， 并使測試速度提高高達80%。此外，它還提供了從SCPI編程轉到吉時利TSP技術的過渡路徑，實施后，可以進一步縮短測試時間。
為了全面支持遺留的測試系統，在這個模式下，還完全支持2400型源存儲清單測試序列。

第三代SMU設計，確保實現更快的測試時間

在早期2600系列儀器成熟的架構基礎 上，2600B系列最新的源測量單元（SMU） 儀表設計從幾個方面提高了測試速度。例 如，早期的設計采用的是并聯電流量程調 節結構，而2600 B系列采用了已申請專利 的串聯量程調節結構，這種結構具有更快 更平滑的量程變換過程和穩定速度更快的 輸出。

SMU-Per-Pin并行測試采用TSP與TSP-Link技術，提高測試吞吐量，并降低測試成本。

2600B系列數字源表源測量單元 （SMU）儀表設計支持對各種負載使用 兩種操作模式。在普通模式下，源測 量單元（SMU）儀表為最大吞吐量提供 高帶寬性能。在高電容模式下，源測 量單元（SMU）儀表使用較慢的帶寬， 為較高電容負載提供魯棒的性能。

簡化半導體元件測試、驗證與分析

可選配的ACS Basic版本軟件實現了客戶效率的最大化，使客戶可以在開發、質量認證或故障分析中，對封裝器件進行特性分析。主要特性包括：

• 內容豐富、易于訪問的測試庫
• 腳本編輯器，實現現有測試的快速定制
• 數據工具，便于迅速比較測試結果
• 公式工具，便于分析俘獲的曲線，并提供多種數據函數。

欲了解有關ACS Basic版本軟件的更多信息，參見ACS Basic版本數據表。

強大的軟件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用軟 件以及可選配的ACS Basic版本軟件，免 費Test Script Builder軟件工具，可以 幫助用戶創建、修改、調試和存儲TSP測 試腳本。圖1給出2600B系列數字源表軟 件工具的主要特性。

2600B系列產品3個最新型號的雙通道 臺式數字源表，提供業界最佳的價值 和性能

如果想調試設計問題，首先必須知道存在問題。每個設計工程師都要用大量的時間查找電路中的問題，如果沒有合適的調試工具，這項任務耗時長、非常麻煩。

為了滿足那些不需要一流系統級自 動化能力的應用需求，吉時利對2600B系 列數字源表進行了擴展，推出3中最新的 高性價比臺式型號產品——2604B、2614B和 2634B。這些型號產品性能分別與2602B、 2612B和2636B相似，但它們不包括TSP Link、接觸檢查以及數字I/O能力。

完整的自動化系統解決方案

吉時利S500綜合測試系統是基于儀 器的、可高度配置的系統，適合器件、 晶圓或晶圓盒的半導體特性分析。S500 綜合測試系統基于已被證明的2600系列 系統數字源表源測量單元（SMU），提供 創新的測量特性與系統靈活性，可以根據需求進行升級。其獨特的測量能力， 再加上強大而靈活的自動特性分析套 件(ACS)軟件，為客戶提供全面的應用 范圍和特性，這是市場上競爭產品所不具備的。

表1 2600B軟件工具

特征/功能	ACS Basic版本	基于Java即插即用軟件	Test Script Builder (TSB)
說明	半導體特性分析軟件， 用于元件測試、驗證 與分析	迅速啟動的、基于Java即插即用軟件工具，支持快速和容易的I-V測試，主要用于臺式和實驗室用戶	為TSP儀器定制的腳本編寫工具
支持的硬件	2400系列、2600B系列、4200-SCS	2600B系列	2600B系列，3700系列
支持的總線	GPIB, LAN/LXI	LAN / LXI	GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB
功能	基于向導的直覺圖形用戶接口（GUI），豐富的測試測試庫和曲線跟蹤能力	直線/對數掃描、脈沖、自定義掃描、單點源測量注意：可使用2600B的新API實現精確定時和通道同步	總體靈活的自定義腳本，功能齊全的調試器
數據管理	公式工具，包括多種數學函數	.csv文件導出	用戶定義
安裝	選購	不需要。內嵌在儀表中	免費下載或CD提供，安裝在PC上

當您需要對封裝器件數據進行快速采集時，通過 ACS Basic版本軟件基于相當的用戶界面，很容易 發現和運行期望的測試，就像常見的 FET曲線跟 蹤測試一樣。

ACS Basic版本軟件具有靈活的軟件體系結構，允許為 系統配置多種控制器與測試夾具，并可以根據應用需要， 配置所需的數字源表數量。

典型應用

各種器件的I-V功能測試和特征分析，包括：

• 分立和無源元件
  – 兩抽頭器件——傳感器、磁盤驅動器頭、金屬 氧化物可變電阻（MOV）、二極管、齊納二極 管、電容、熱敏電阻
  – 三抽頭器件——小信號雙極結型晶體管（BJT）場效應晶體管（FET），等等
• 簡單IC器件——光學器件、驅動器、開關、傳感 器、轉換器、穩壓器
• 集成器件——小規模集成（SSI）和大規模集成（LSI） – 模擬IC
  – 射頻集成電路（RFIC）
  – 專用集成電路（ASIC）
  – 片上系統（SOC）器件
• 光電器件，例如發光二極管（LED）、激光二極管高亮度LED（HBLED）、垂直腔面發射激光器 （VCSEL）、顯示器
• 圓片級可靠性
  – NBTI、TDDB、HCI、電遷移
• 太陽能電池
• 電池
• 更多…

2604B/2614B型儀表的背板
(單通道2601B, 2611B, 2635B沒有給出)。

2636B型儀表的背板

在第一和第三象限，2600B系列儀器用作信號源，向負載提供 電源。在第二和第四象限，2600B系列儀器用作信號宿，內部 消耗功率。

2601B、2602B和2604B的I-V測試功能

2611B、2612B和2614B的I-V 測試功能

2634B、2635B和2636B的I-V 測試功能