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如何使用IT2800源表測量半導體材料表面電阻率
來源: | 作者:泰勤科技 | 發布時間: 2023-12-18 | 1068 次瀏覽 | 分享到:

測試精度高:高達 100nV/10fA 分辨率,電流量測精度最高可達 0.1%+50pA,電壓量測精度最高可 達 0.015%+300uV;提供正向/反向電流連續變化測試,提高測試精度。

  2)方形四探針法(如范德堡法)

  范德堡法適用于扁平,厚度均勻,任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測試。相比較直線型四探 針法,對樣品形狀沒有要求。測試中,四個探針接觸點必須位于樣品的邊緣位置,測試接線方式也是在其 中兩個探針點提供恒定電流,另外兩個點量測電壓。圍繞樣品進行 8 次測量,對這些讀數進行數學組合來 決定樣品的平均電阻率。詳細測試方法可參見 ASTM 標準 F76。

  

  總結:利用 IT2800 系列高精密源/測量單元可以精準實現半導體薄層電阻的電阻率測試,為半導體制 造工藝的改進提供數據依據。IT2800 SMU 因其高精度測量和豐富的探針臺治具優勢,為行業提供專業的 測試解決方案。


  



   

 



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