測試精度高:高達 100nV/10fA 分辨率,電流量測精度最高可達 0.1%+50pA,電壓量測精度最高可 達 0.015%+300uV;提供正向/反向電流連續變化測試,提高測試精度。
2)方形四探針法(如范德堡法)
范德堡法適用于扁平,厚度均勻,任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測試。相比較直線型四探 針法,對樣品形狀沒有要求。測試中,四個探針接觸點必須位于樣品的邊緣位置,測試接線方式也是在其 中兩個探針點提供恒定電流,另外兩個點量測電壓。圍繞樣品進行 8 次測量,對這些讀數進行數學組合來 決定樣品的平均電阻率。詳細測試方法可參見 ASTM 標準 F76。
總結:利用 IT2800 系列高精密源/測量單元可以精準實現半導體薄層電阻的電阻率測試,為半導體制 造工藝的改進提供數據依據。IT2800 SMU 因其高精度測量和豐富的探針臺治具優勢,為行業提供專業的 測試解決方案。